Acasa >> Produse >>Aparatura Stiintifica

Elipsometre

Elipsometrele HORIBA Scientific incorporeaza tehnologiile de modulare de faza non-rotativa si modulare cu cristale lichide furnizand masuratori de cea mai mare sensibilitate si acuratete pe un domeniu spectral larg, de la VUV la NIR.
Pe langa informatiile privitoare la grosimea filmului si a constantelor optice, elipsometria furnizeaza informatii despre proprietatile materialelor, cum ar fi: anizotropia, gradient, morfologie, cristalinitate, compozite chimica si conductivitate electrica.

UVISEL 2: Solutia pentru orice provocare in masuratorile de filme subtiri

UVISEL 2_1

HORIBA Scientific ofera o noua generatie de elipsometre stiintifice cu cel mai inalt nivel de performanta pentru caracterizarea straturilor subtiri de ordinul nano si micro.
Sub comanda software-ului DeltaPsi2, UVISEL 2 devine simplu de operat si are performantele necesare caracterizarii tuturor materialelor cunoscute cat si a viitoarelor generatii de materiale si structuri.

Brosura:Uvisel 2
Mai multe detalii : aici

UVISEL 2_2
SPECIFICATII:
– domeniul: 190-880nm;
– sistem pentru furnizarea imaginii colorate a probei in timp real si masurarea exacta a spotului utilizand capul elipsometric;
– microspoturi controlate de computer;
– alegerea a 8 spoturi diferite ca marime in functie de marimea probei;
– optica microspot acromatica pana la 35 µm;
– unghi goniometric variabil, controlat de computer;
– domeniul unghiurilor: 35° – 90°;
– stage controlat de computer pe directiile XYZ, 200mm x 200mm;
– suport de proba patrat, 200 mm cu doua referinte atasate;
– ajustare automata a axei Z : 40mm cu Autofocus;
– alinierea motorizata a inclinarii probei;
– alinierea probei cu sistem laser;
– lampa de Xenon, 150 W;
– sistem dublu monocromator pentru domeniul UV-Vis;
– detectori PMT imperecheati pentru cea mai inalta sensibilitate si domeniu dinamic;
– extindere NIR pana la 2100 nm;
– monocromator pentru domeniul NIR, 880 nm – 2100 nm;
– detector InGaAs;
– computer si pachet software Delta Psi2;
– achizitie, calibrare automata si interpretare de date.

 

Sus

Auto SE: Eficienta cu maxima simplitate

Auto SE_1

Auto SE este un instrument de masurat filme subtiri care realizeaza analiza complet automata printr-o simpla apasare a unui buton de operare. Analiza probei dureaza numai cateva secunde si se genereaza un raport complet care include: grosimea de film, constantele optice, rugozitatea suprafetei, si neomogenitatile filmului.

Auto SE are inclus stage automat XYZ si ofera: imagistica in timp real a masuratorii, imagistica locului de masurare si selectarea automata a marimii spotului. De asemenea, sunt disponibile o gama variata de accesorii pentru aplicatii multiple.

Auto SE are incorporati indicatori de autodiagnosticare a problemelor si ghideaza operatorul in rezolvarea acestora.

Auto SE se evidentiaza printr-o usoara operare si prin numeroasele functii automate, recomandandu-l pentru alegerea ideala in masuratorile de rutina si in domeniul controlului calitatii.

Brosura:Horiba Auto SE
Mai multe detalii : aici

SPECIFICATII:
– domeniul spectral: 440-1000 nm
– marimea spotului: selectare automata, 500×500 µm; 250×500 µm; 250×250 µm; 70×250 µm; 100×100 µm; 50×60 µm; 25×60 µm;
– detectie: CCD, rezolutie 2nm;
– suport de proba: cu ventuze de prindere, in latime pana la 40 mm;
– vizualizare proba: camera CCD camera, 1.33×1 mm , rezolutie 10µm;
– Goniometru: fix la 70°, cu posibilitatea de setare pana la 66° si 61.5°;
– timp de masura <2s, tipic 5s;
– acuratete: NIST 100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002;
– repetabilitate: NIST 15nm ± 0.2 Å.

Sus

Smart SE – Puternic si economic

Smart-SE_1

Smart SE este un elipsometru versatil pentru masuratori rapide si precise ale filmelor subtiri de la cativa Angstromi la 20µm.
Masuratorile dureaza numai cateva secunde, iar datele sunt analizate de platforma DeltaPsi2 care include doua niveluri software pentru a raspunde atat analizelor de rutina cu metode predefinite cat si masuratorilor din domeniul cercetarii avansate.

Smart SE este alegerea economica pentru activitatea de cercetare, insotita de rezultate performante si de incredere.

Instrumentul inglobeaza un sistem de vizualizare pentru pozitionarea cu precizie a spotului, sapte microspoturi cu selectie automata si cu un domeniu de marime care coboara pana la cativa zeci de microni si abilitatea de a masura complet matricea Mueller cu 16 elemente in numai cateva secunde pentru studiul materialelor complexe.

Design-ul flexibil al Smart SE permite automatizarea completa a suportului de proba si a goniometrului cat si folosirea in-situ de camere de proces. Este potrivit pentru orice buget si aplicatie din domeniul microelectronicii, fotovoltaic, monitoare, acoperiri optice, suprafete, si compusi organici.

SPECIFICATII Smart SE Configuratie Standard:
– domeniul spectral: 450nm la 1000nm;
– rezolutia spectrala: mai buna de 3nm;
– sursa de radiatie: lampa de Halogen si LED Blue;
– timp de masura: <1sec la 10 sec
– marimea spotului: 75µm x 150µm, 100µm x 250µm, 100µm x 500µm, 150µm x 150µm, 250µm x 250µm, 250µm x 500µm, 500µm x 500µm;
– unghi de incidenta: 45o la 90o, selectabil in pasi de 5o;
– marime proba: pana la 200mm;
– aliniere proba: manual, cu reglarea inaltimii pe 17mm si a inclinarii;
– dimensiuni: 100cm x 46cm x 23cm(WxHxD).

PERFORMANTE:
– precizie: Ψ=45o±0.05o Δ=0o±0.2o;
– precizia grosimii pe 1000 Å oxid: 0.04%;
– repetabilitatea grosimii pe 1000 Å oxid: ±0.02%.

OPTIUNI:
– unghi de incidenta cu reglare automata in intervalul de la 45o la 90o cu pasi de 0.01o;
– stage motorizat pentru probe cu dimensiuni de 200mm si 300mm ;
– flanse reglabile pentru montarea in-situ pe camere de proces;
– incalzirea si racirea suportului de probe;
– celule de lichide si electrochimice;

Brosura:Smart-SE Version 5
Mai multe detalii : aici

Sus